如何使用IT2800源表测量半导体材料表面电阻率
电子器件的许多重要参数与电阻率及其分布的均匀性有密切的关系，例如二极管的反向饱和电流，晶体管的饱和压降和放大倍数β等，都直接与硅单晶的电阻率有关。因此器件的电阻率测试已经成为芯片加工中的重要工序，对其均匀性的控制和准确的测量直接关系将来能否制造出性能更优功率器件。
不同于使用万用表测量常规导体电阻，半导体硅单晶电阻率以及微电子领域的其他金属薄膜电阻率的测量属于微区薄层电阻测试，需要利用微小信号供电以及高精密的量测设备，包括测试接线方式上，也需要利用四线制的接法来提升测量结果的准确性，行业内称为四探针测试法。IT2800可用于四探针法测试。
2025.12.04
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